BROOKS流量計(jì)作為眾多流量計(jì)中的一種，是利用改變流通面積的方法來測量流量的流量計(jì)。它帶有溫度、壓力傳感器，配備溫度、壓力傳感器可測量標(biāo)況體積流量和質(zhì)量流量，從而顯示氣體的標(biāo)況體積流量。采用鋰電池供電可不間斷運(yùn)行一年以上，可以直接測量出飽和蒸汽的溫度并計(jì)算出壓力，安裝非常方便。由于其不用和測量介質(zhì)直接接觸，可以進(jìn)行開口流量的測量，對流體不產(chǎn)生干擾和阻力，非常受廣大用戶歡迎。

 

　　BROOKS流量計(jì)與恒溫差式流量計(jì)的結(jié)構(gòu)類似，在測量管路中同樣加入兩個(gè)金屬鉑電阻，一個(gè)為用于測量被測流體溫度的測溫電阻，另一個(gè)為用于測量被測流體速度的測速電阻。鉑電阻連接在惠斯通電橋中，鉑電阻的溫度不同使鉑電阻的電阻呈現(xiàn)不同阻值，從而使電橋不平衡，通過檢測電橋的電壓差來反應(yīng)流體流量。

 

　　在溫度和壓力方面，這兩個(gè)參數(shù)對氣體密度有很大的影響，氣體很容易被壓縮，溫度變化、壓力變化、和中等密度也發(fā)生變化。在德國SKI流量計(jì)的生產(chǎn)過程中，校準(zhǔn)時(shí)它們都是根據(jù)客戶提供的這些參數(shù)進(jìn)行計(jì)算和校準(zhǔn)的，在不同環(huán)境中進(jìn)行測量時(shí)可能會發(fā)生錯(cuò)誤。那么當(dāng)該儀表在測量中出現(xiàn)誤差時(shí)應(yīng)如何進(jìn)行檢查呢？

 

　　1、質(zhì)量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標(biāo)定壓力，如果質(zhì)量流量控制器的壓力不夠就會出現(xiàn)達(dá)不到標(biāo)定量程。

 

　　2、零點(diǎn)是否有漂移，首先需接通電源，質(zhì)量流量控制器信號為0的情況下，則需要用萬網(wǎng)表測一下輸出信號值以及看一下電源控制器的反饋信號。

 

　　3、氣體是否純凈，如果盤路有污染，那么流量就肯定會收到影響，這個(gè)時(shí)候可以用高純N2多次清掃。